探针台
Probe Stations
主体材质
采用优质铝合金,表面喷砂氧化黑 |
分辨率(8细分)
0.0005mm |
重复定位精度
0.003mm |
最大速度
10mm/s |
电动位移台系统可实现多自由度的调整,包括电动平移台、电动旋转台、电动升降台、电动倾斜台、电动角位台和驱动控制部分,可以是一维,也可以组成六维电动位移系统。由于其精度高、速度快、行程长、使用寿命长、自动化程度高等特点