探针台
Probe Stations
台面端跳
0.04mm |
传动比
180:1 |
分辨率(8细分)
0.00125° |
重复定位精度
0.004° |
电动位移台系统可实现多自由度的调整,包括电动平移台、电动旋转台、电动升降台、电动倾斜台、电动角位台和驱动控制部分,可以是一维,也可以组成六维电动位移系统。由于其精度高、速度快、行程长、使用寿命长、自动化程度高等特点
电动位移台系统可实现多自由度的调整,包括电动平移台、电动旋转台、电动升降台、电动倾斜台、电动角位台和驱动控制部分,可以是一维,也可以组成六维电动位移系统。由于其精度高、速度快、行程长、使用寿命长、自动化程度高等特点