探针台
Probe Stations
主体材质
优质铝合金,表面喷砂氧化黑 |
台面尺寸
160mm×160mm |
轴心高
139mm |
分辨率
0.0005625° |
电动位移台系统可实现多自由度的调整,包括电动平移台、电动旋转台、电动升降台、电动倾斜台、电动角位台和驱动控制部分,可以是一维,也可以组成六维电动位移系统。由于其精度高、速度快、行程长、使用寿命长、自动化程度高等特点。