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创谱商城 高低温应用探针台 加热探针台（大气） 探针台 ZR系列高温探针台
  • 参数规格
产品说明
  • 结构紧凑，功能实用，高性价比
  • 漏电精度100fA（吉时利2636B实测）
  • PID控温，可加热至300℃
  • 1μm以上电极/PAD使用
  • 最大可用于12寸以内样品测试
  • 兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜/金相显微镜
  • 探针台整体分辨率3μm，样品XYZR四维调节
  • 模块化设计，可根据应用增加和去除相应模块
  • 多被用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等
通用参数
漏电精度
100fA（KEITHLET2636B实测）
整体位移精度
3μm
加热模块
PID控温，可加热至300℃，控温精度±1℃
针座标配精度
3μm
针座数量标配
3个
接口形式
BNC/三同轴接口
背电极
可引出背电极

ZR系列探针台包括探针台面板，探针架，高精度探针定位器，恒温样品台，样品位移系统，显微成像系统等组成，模块化设计，后期方便升级满足不同应用要求。

ZR系列高温探针台
  • 最大可用于12寸以内样品测试
  • 探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节
  • 兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试
  • PID控温，可加热至300℃，控温精度±1℃，有效区域温度均匀性±5℃
  • 1微米以上电极/PAD使用
  • 加宽探针架，可以放置6个DC探针座/4个RF探针座
  • 全系列搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式
  • 多被用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等

产品展示
产品型号 样品卡盘尺寸 样品X-Y行程 位移精度 对比 单价 发货日期 购物车
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 ZR-4 4英寸 50mm×50mm 10μm
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 ZR-6 6英寸 50mm×50mm 10μm
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 ZR-8 8英寸 50mm×50mm 10μm
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 ZR-12 12英寸 50mm×50mm 10μm
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