探针台
Probe Stations
创谱仪器PS-DN系列多功能探针座匹配多功能探针夹具,可以180°旋转+精密60°定向倾斜,根据位移精度划分为:10μm、3μm、1μm、0.7μm、0.5μm;根据不同的样品需求,选择不同位移精度的探针座。
主体材质
优质航空铝合金,表面喷砂氧化黑 |
探针位移行程
XYZ三维分别13mm+180°旋转+精密60°角度倾斜(可锁紧) |
接口形式
BNC/三同轴接口 |
匹配探针夹具
多功能夹具+管状夹具,集成探针管,可插0.5mm直径探针 |
同轴线缆漏电精度
10pA(KEITHLET2636B实测) |
三轴线缆漏电精度
100fA(KEITHLET2636B实测) |
整体结构外形尺寸:300mm×65mm×142mm(LWH),位移精度:1μm,电压最大1000V,适用于50μm以下电极