探针台
Probe Stations
创谱仪器PS-L系列L型探针座匹配L型探针夹具,45°固定角度探针,180°旋转,根据位移精度划分为:10μm;根据不同的样品需求,选择不同位移精度的探针座。
材质
优质航空铝,表面喷砂氧化黑 |
探针位移行程
XYZ三维分别13mm+180°旋转 |
接口形式
同轴线缆(可选BNC、鳄鱼夹、香蕉插头、SMA、N型)/三同轴接口 |
匹配探针夹具
L型镀金弹簧探针夹具,适配直径0.5mm以下探针 |
同轴线缆漏电精度
10pA(KEITHLET2636B实测) |
三同轴线缆漏电精度
100fA(KEITHLET2636B实测) |
整体结构外形尺寸:200mm×45mm×80mm(LWH),位移精度:10μm,电压≤1000V,适用于100μm以上电极