探针台
Probe Stations
MTH100系列高精度材料转移分析系统是我司组合MT系列二维材料转移台、TDH系列探针台、桌面型气浮平台、微观器件材料分析系统搭建的一个既可以实现多维材料转移,又可以进行材料转移之后的电学分析以及光电分析的综合型测试系统。
桌面型气浮隔振平台
囊式空气弹簧,平面度≤0.03mm/600mm×600mm |
五州载玻片移动平台
行程25mm,Z轴精密差动微分头,精度0.5μm |
加热台
温度可达300℃,PID控温 |
探针位移精度
3μm |