探针台
Probe Stations
漏电精度
10pA(同轴线缆)、100fA(三同轴线缆) |
整体位移精度
3μm |
加热模块
PID控温,可加热至300℃,控温精度±0.1℃,有效区域温度均匀性±5℃ |
探针座标配精度
3μm(可升级为1μm、0.7μm/电动) |
探针座标配数量
3个 |
接口形式
香蕉插头、鳄鱼夹、BNC、SMA、N/三同轴 |
背电极
可引出背电极 |
成像方式
电子显微镜、双目体式显微镜、金相显微镜、单筒金相显微镜、激光显微镜 |