探针台
Probe Stations
控制电机
高分辨率高扭矩五相步进电 |
手轮组
匹配三通道运动手轮组 |
显微转移操作平台
XYZR四轴精密电动调节 |
真空吸附加热模块
可加热至200℃(极限240℃),XYR三轴精密电动调节 |
显微观察系统
高分辨率金相显微镜,选用95mm消色差长焦物镜 |
高精度电动二维材料转移系统是我司根据客户应用自主研发的低维材料异质结器件转移产品,适用于石墨烯,硫化钼,黑磷等单层材料精确定点转移,以及多层范德华异质结的制备,实现了低维材料转移的可视化操作;配合的是五相步进电机,可以运动手轮操作,也可以软件操作,实现自动控制,该系列均采用高精度电动控制,非常适合手套箱集成的操控。目前已在多个科研实验室投入使用。