探针台
Probe Stations
水平方式
手动调平 |
隔振方式
精密空心锥形减振 |
平面度
≤0.03mm/600mm×600mm |
固有频率
3-5Hz |
振幅
≤3μm |
调节高度
±15mm |
刚性阻尼光学隔振平台采用整体焊接隔振支架、阻尼隔振垫和光学面包板组合而成,整体高度800mm,包括台面和支架两部分。 创谱仪器刚性阻尼光学平台根据台面尺寸以及支架类型分为小型超薄光学平台、标准重型光学平台、精密型光学平台三种,用户可以根据应用选型。
创谱仪器刚性阻尼光学平台根据台面尺寸以及支架类型分为小型超薄光学平台、标准重型光学平台、精密型光学平台三种,用户可以根据应用选型。