探针台
Probe Stations
水平方式
自动充气,自动平衡 |
隔振方式
囊式空气弹簧 |
平面度
≤0.03mm/600mm×600mm |
固有频率
垂直1.2Hz-1.8Hz,水平1.2Hz-1.8Hz |
振幅
≤1.2μm |
重复定位精度
±0.05mm |
气浮隔振平台由精密气浮隔振支架、阻尼隔振垫、空气压缩机、光学面板组成,整体高度800mm,由台面和支架组成。对于气浮隔振平台,除了具备刚性阻尼隔振平台特点之外,还有有优异的隔振性能,更加稳定的隔振效果,更加精准的高度控制。