探针台
Probe Stations
水平方式
自动充气,自动平衡 |
表面粗糙度
<0.08μm |
固有频率
垂直1.2Hz-1.8Hz,水平1.2Hz-1.8Hz |
振幅
≤1.2μm |
重复定位精度
±0.05mm |
气浮隔振平台由精密气浮隔振支架、阻尼隔振垫、空气压缩机、光学面板组成,整体高度800mm,由台面和支架组成。对于气浮隔振平台,除了具备刚性阻尼隔振平台特点之外,还有有优异的隔振性能,更加稳定的隔振效果,更加精准的高度控制。
创谱仪器精密气浮隔振平台根据台面的不同,分为铁磁不锈钢台面气浮隔振平台和大理石精密气浮隔振平台。