结构紧凑，功能实用，高性价比

漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）

整体位移分辨率10μm

应用于高等院校/研究院/公司实验室使用

1微米以上电极/PAD使用

加宽探针架，可放置多个探针座

最大可用于12英寸以内样品测试

兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜/金相显微镜，360°旋转和微调升降

针座采用精密丝杠/燕尾传动结构，线性移动，无回程差设计

模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块

多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等