整体采用优质304不锈钢精密加工而成,高平面度,高密封性
上盖带4英寸石英观察窗,具备双层水冷功能
配备1个KF25抽真空排气口,1个CF16充气口,1个KF16电阻规接口,1个KF16放气口1个KF40预留接口,1个DN63BNC真空贯穿接口,2个CF35冷却液接口,4个DN63探针台接口,2个CF16电源接口
配备自动平衡精密隔振光学平台配置气悬浮自动平衡支架,带围板,集成度高,配置空气压缩机
PID温度控制,显示精度0.1C,控温精度土1,温度均匀性3C,最高温度300C,最低温度-142℃
配备50L自增压液氮罐、液氮输入管、高温部件构成及低温部件
配置KF25手动挡板阀1个,KF16手动放气阀1个
配置压阻电阻复合真空计,安装1个全金属KF16电阻规