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  • 参数规格
产品说明
  • 小巧简单,功能使用,超高性价比
  • 漏电流精度:10pA/100fa(吉时利2636B实测)
  • U型探针架,可放置多个探针座
  • 整体位移分辨率10μm
  • 样品XYZR四维调节
  • 1μm以上电极/PAD使用
  • 针座采用进口交叉滚珠导轨/精密燕尾槽,线性移动,无回程差设计
  • 兼容高倍率电子显微镜/三目体视显微镜
  • 整体尺寸小,方便携带,底部隔振地脚,提高测试稳定性
  • 模块化设计,可根据应用增加和去除相应模块
  • 多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等;广泛用于科研院校及公司
展示视频

简易型探针台结构小巧,功能实用,成本较低的简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好得使用效果和性价比。简易型探针台结构小巧,功能实用,成本较低的简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好得使用效果和性价比。


3D模型展示

通用参数
漏电精度
100fA(吉时利2636B实测)
整体位移精度
10μm
标配针座精度
10μm(可升级1μm/3μm)
针座数量
标配2个(可升级4个)
接口形式
BNC/三同轴接口
背电极
可引出背电极
  • 产品展示

  • 漏电精度测试

Mini系列简易型探针台
  • 样品台XYZR四维调节,XY行程根据样品台尺寸/晶圆尺寸而定,Z轴行程10mm,XYZ整体分辨率10μm,360°旋转粗调可锁紧
  • 兼容多种光学显微镜,可以引入光路,完成光电mapping测试
  • 整体尺寸小,方便携带,底部隔振地脚,提高测试稳定性
  • 漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)
  • 探针采用进口交叉滚珠导轨/精密燕尾槽,线性移动,无回程差设计
  • 1微米以上电极/PAD使用
  • U型探针架,可以放置多个探针座
  • 多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等;广泛用于科研院校以及公司!

产品展示
产品型号 样品卡盘尺寸 样品X-Y行程 位移精度 对比 单价 发货日期 购物车
参数+
Mini-4 4英寸 110mm×110mm 10μm
联系客服 联系客服
参数+
Mini-6 6英寸 110mm×110mm 10μm
联系客服 联系客服
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