小巧简单,功能使用,超高性价比
漏电流精度:10pA/100fa(吉时利2636B实测)
U型探针架,可放置多个探针座
整体位移分辨率10μm
样品XYZR四维调节
1μm以上电极/PAD使用
针座采用进口交叉滚珠导轨/精密燕尾槽,线性移动,无回程差设计
兼容高倍率电子显微镜/三目体视显微镜
整体尺寸小,方便携带,底部隔振地脚,提高测试稳定性
模块化设计,可根据应用增加和去除相应模块
多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等;广泛用于科研院校及公司