探针台
Probe Stations
控制电机
五相步进电机 |
轴数
XYZ三轴 |
行程
15mm |
分辨率
1.5μm |
最大速度
10mm/s |
匹配夹具
多功能夹具/L型夹具/射频夹具 |
创谱仪器可以按客户的需求匹配不同系列的探针座以及控制,与客户现有设备完美结合;