三轴行程15mm

分辨率1.5μm

五相步进电机控制

高精度电动探针座基于高精度电动位移装置，兼容5相步进电机,精度很高

搭配五相高精度高分辨率驱动器，低速无抖动，实现微米级定位

搭配我司多轴运动控制系统以及运动手轮组合，轻松实现多轴联动以及单轴运动匹配，最多单个控制器可以连接三个探针座，实现9个自由度的组合电动位移

软件交互界面非常清晰，可以单轴操作，也可以同时勾选任意轴进行同时操作，支持一键多轴/单轴回零；可以独立的操作某一个轴，也可以多个轴组合运动；每个轴的速度可以单独控制；更是匹配多种自动控制，实现多轴联动以及多轴插补运动，同时支持阵列运动以及导入CAD图纸功能；可以满足自动生产线和自动实验设备的功能需要