高精度电动探针台

产品说明

电动探针台是一种在半导体、光电等领域广泛应用的精密测试设备；
通过电机驱动系统，实现探针台的 X、Y、Z 轴等方向的精确移动和定位，使探针能够准确地对准样品上的测试点
当探针与样品接触后，可将样品的电信号传输到外部的测量仪器，如示波器、万用表、半导体参数分析仪等，从而对样品的电学特性进行测量和分析，如电流、电压、电阻、电容、电感等参数
配合的是五相步进电机，可以运动手轮操作，也可以软件操作，实现自动控制
该系列均采用高精度电动控制，非常适合手套箱集成的操控
目前已在多个科研实验室投入使用

通用参数

漏电精度

10pA(同轴线缆)、100fA(三同轴线缆)

控制电机

高分辨率高扭矩五相步进电

探针座

手动款/电动款

显微镜

三目体式显微镜、单筒金相显微镜、激光成像显微镜、金相显微镜

桌面型真空泵

进口无油真空泵，7L/min

	产品型号	样品卡盘	电动样品位移台行程	位移精度	单价	发货日期 	购物车
参数+	TDH-D4	4英寸	110110mm/4英寸4英寸	±1.5μm	联系客服	联系客服	加入购物车
参数+	TDH-D6	6英寸	110110mm/6英寸6英寸	±1.5μm	联系客服	联系客服	加入购物车
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