3轴电动控制
中间样品台XY行程110mm,精度3μm
匹配探针座(针座可根据要求选型)
显微成像系统采用无限远光学系统,集正置、倒置金相显微镜,大工作距离,落射照明和高分辨率无限远光学成像系统
带有激光接口,可耦合激光器/光源,经过物镜光源聚焦
可匹配电动物镜转换器,重复定位精度5μm
电动拉伸台行程50mm,双电机控制,整体运动分辨率3μm
电动调焦装置采用进口高品质滚珠螺杆驱动,重复定位精度高、寿命长
搭配 DMC系列运动控制器,可以实现手动调节速度以及步进位移量
超薄三轴电动拉伸台配合运动控制,两轴电动控制,搭配软件实现自动控制,软件支持 labview集成开发(可根据客户要求定制生产)
整体高度集成,系统整合在光学隔振台上,保证稳定性的同时提高隔振性能,底部可升降隔振地脚,适用于多种测试环境
多被用于科研院校搭建测试系统,例:材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等等