探针台
Probe Stations
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
调节精度
3μm |
中间两维调节样品架
XY轴行程4英寸整体分辨率3μm |
显微镜
单筒激光显微成像系统 |
针座精度
3μm |