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  • 参数规格
产品说明
  • 半圆形探针架,可放置6个DC探针座
  • 漏电精度100fA(吉时利2636B实测)
  • 整体位移精度1μm
  • 1微米以上电极/PAD使用
  • 兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜/金相显微镜等
  • 探针台整体位移分辨率1μm,样品XYZR四维调节
  • 用于科研院校搭建测试系统,例:材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统
  • 全系列搭配显微镜XY精密移动功能,可以选配多种位移行程以及驱动形式
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整体集成度高,且测试方便简单,底座行程大,弥补了基础型的缺陷,可以满足多种测试应用,且可以升级射频探针台;优点:高性价比,应用面广,稳定性高;应用:一般用在高校/研究所科研实验是居多,以及科研型单位研发部;

通用参数
漏电精度
100fA(KEITHLEY2636B实测)
整体位移精度
1μm
标配针座精度
3μm(可升级成1/0.5μm)
针座数量
标配2个(可升级6个)
接口形式
BNC/三同轴接口
背电极
可以引出背电极
PH系列综合表征分析探针台
  • 两边半圆形探针架,可以放置最多6个探针座,且方便放置探针卡集成4路吸附开关,方便吸附
  • 1微米以上电极/PAD使用
  • XY行程115X115mm,Z轴调节10mm,360°旋转粗调+士5°精调
  • 可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析,需要红外光源和红外摄像机
  • 集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm,精度lum
  • 模块化设计,调节精度 3 微米,可调磁性吸附固定
  • 最大电压 1400V,阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程
  • 位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm,Z轴调节10mm,360°旋转粗调+士5°精调
  • 多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等

产品展示
产品型号 样品台尺寸 样品台行程 整体位移精度 对比 单价 发货日期 购物车
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PH-4 4英寸 XY行程115X115mm,Z轴调节10mm,360°旋转粗调+士5°精调 1μm(可定制)
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PH-6 6英寸 XY行程115mmX115mm,Z轴调节10mm,360°旋转粗调+士5°精调 1μm(可定制)
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PH-8 8英寸 XY行程115mmX115mm,Z轴调节10mm,360°旋转粗调+士5°精调 1μm(可定制)
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PH-12 12英寸 XY行程115mmX115mm,Z轴调节10mm,360°旋转粗调+士5°精调 1μm(可定制)
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