探针台
Probe Stations
简易型探针台结构小巧,功能实用,成本较低的简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好得使用效果和性价比。简易型探针台结构小巧,功能实用,成本较低的简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好得使用效果和性价比。
3D模型展示
漏电精度
100fA(吉时利2636B实测) |
整体位移精度
10μm |
标配针座精度
10μm(可升级1μm/3μm) |
针座数量
标配2个(可升级4个) |
接口形式
BNC/三同轴接口 |
背电极
可引出背电极 |